－専門外の技術者でも、読めば判る発明の実践手引き－
ＬＳＩを作る為に欠かせない半導体露光装置。その中でも主流となっている走査型露光装置。その基本特許を発明し、更に、今や８割のシェアを有するオランダのＡＳＭＬ社が、日本からそのシェアを奪い取った要因の一つとされる、ツインステージの原理特許をＡＳＭＬよりも前に発明した技術者が出す発明方法の本。
日本の技術を担う若手の技術者が、発明方法を覚え、特許を使い熟せる様になるために、是非読んで頂きたい一冊。
貴方も、筆者と一緒に開発を行っていた現場に立ち返り、技術の基礎を学びながら問題解決ができる発明を考え、特許出願する手法を学んでみませんか？
＜目次＞ 全１９５ページ
１．見出し
２．過去に行こう！
３．物事を簡略化していこう
４．半導体露光装置とは
５．初めて特許を解きほぐす
６．回避案を考えよう
７．採用された回避策
８．装置の全体像を学ぼう
９．４つの仕様とは
１０．数式は覚えなくて良い？
１１．どんどん機構を簡略化して覚えよう
１２．アライメント精度とは？
１３．複雑な事を分解して行こう
１４．各要素に大きさを入れ整理しよう
１５．新しいことを導入する時の問題点を明確にしよう
１６．スループットとは？
１７．発明のための準備をしよう
１８．アイデアを出していこう１
１９．アイデアを出していこう２
２０．アイデアを出していこう３
２１．アイデアを出していこう４
２２．新しい分野でアイデアは出せるか
２３．露光装置の歴史
２４．走査型縮小投影露光装置とは？
２５．コヒーレントとインコヒーレント
２６．最大の山場
２７．有効な特許の量産
２８．投影光学系と解像度
２９．オートフォーカス制御とフォーカスキャリブレーション
３０．ｉ線なのに走査露光
３１．ツインステージの発明
３２．開発と納期
３３．知財面からの改革
３４．モジュール構造・ツインステージの開発
３５．企画面からの起死回生
３６．新しい事業の発掘
３７．広視野角ヘッドマウントディスプレイ開発と退社
３８．広視野角ヘッドマウントディスプレイの製品化
３９．現代に戻って
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